Прямоугольные фланцы

В некоторых видах применения удобно использовать фланцы некруглой формы. Один прямоугольный фланец, для которого существуют стандарты - это фланец, изготовленный согласно MESA (Архитектура стандартов модульного оборудования) или SEMI (Международные стандарты полупроводникового оборудования и материалов) [4]. Этот фланец был сконструирован для передачи заготовок интегральных схем через загрузочный шлюз в оборудовании для производства полупроводников. Клапаны с такими фланцами имеются в продаже.

В табл. 7 показан этот фланец, а также приведены некоторые основные размеры. Фланцы MESA герметизируются уплотнительными кольцами, и фланцевая пара скрепляется в одно целое с помощью зажимов с губками, используемыми для более крупных фланцев ISO, описанных ранее. Стандарт MESA определяет область уплотнения на поверхности фланца, а также то, что гладкий фланец без канавки уплотнительного кольца должен быть направлен в сторону транспортного модуля. Фланец, содержащий уплотнительное кольцо, по стандарту должен быть направлен в сторону кассеты или модуля обработки. Установочный штифт с одной из двух сторон окна содействует центровке фланцев. В стандарте MESA предусматривается два размера фланца: один для заготовок интегральных схем 200 мм и один для заготовок интегральных схем 300 мм. Конструкция фланца была адаптирована к другим размерам производителями элементов.

Таблица 7. Размеры прямоугольных фланцев MESA или SEMI для прохода заготовок интегральных схем 200 мм и 300 мм

Примечание: фланцы герметизируют уплотнительным кольцом; на рисунке показан фланец без канавки уплотнительного кольца. На фланцах ISO, герметизированных уплотнительным кольцом, герметизирующее усилие обеспечивается зажимами с губками.