Основные системы вакуумных фланцев
В настоящее время используются многочисленные системы вакуумных фланцев. Особенности наиболее широко используемых систем сравниваются в табл. 1.
В данном разделе приводятся описания и основные габаритные размеры наиболее распространенных фланцев. Обозначение размеров фланцев может вызывать путаницу. Наружный диаметр (O.D.) иногда используется в качестве размера, в то время как в других случаях используется максимальный размер трубы, к которой может подходить фланец. В случае фланцев ASA (Американская ассоциация по стандартам) (ANSI - Американский национальный институт по стандартам) в качестве размера фланца в паровых системах по-прежнему используется номинальный размер трубы, применяющейся с фланцами. При указании в спецификациях и заказе фланцев для полной идентификации фланца следует приводить достаточное число габаритных размеров.
Таблица 1. Сравнительная характеристика систем фланцев.
| Тип фланца, номер стандарта | Принимаемые размеры трубы1 | Материал первичного уплотнения2 | Минимальное используемое давление (мм рт. ст.)3 | Виды применения |
| Торцевое уплотнение с утолщенным краем4 | 1/8 - 1,0" | Металл | Линии для транспортировки газа, крепления вакуумметров. | |
| ISO 2861/15 (серия ISO меньшего размера, часто называемая ISO-KF) | 3/8 - 2,0" | Эластомер | Форвакуумные линии, использование высокого вакуума общего назначения, часто модифицируемые системы. | |
| ISO 1609/19866 (серия ISO большего размера, тип с несколькими крпежными элементами) | 2,5 - 12" | Эластомер | Насосы, форвакуумные линии высокой проводимости, использование вакуума общего назначения, часто модифицируемые системы. | |
| ASA (ANSI) | 1,5 - 12" | Эластомер | Насосы высокого вакуума, старые вакуумные системы. | |
| С острыми краями4 (CF) | 0,75 - 10" | Металл | Термически обрабатываемые системы, системы сверхвысокого вакуума. | |
| С уплотнением и проволочной прокладкой | 12 - 18" | Металл | Вакуумные колпаки или окна на больших системах. | |
| MESA или SEMI | Прямоугольные | Эластомер | Оборудование по производству полупроводников; окна имеют размер, подходящий для пропускания полупроводниковых пластин 200 мм или 300 мм. |
1Могут существовать дополнительные размеры.
2Материал первичного уплотнения означает материал уплотнения, предусмотренного конструктором. Для некоторых систем фланцев существуют уплотнения как из эластомера, так и из металла.
3В случае уплотнений из эластомера минимальное используемое давление часто определяется газо- выделением материала уплотнения. Приведенные значения являются заниженными. Максимальное используемое давление для фланца зависит от того, насколько хорошо изолирована прокладка. Во фланцах с острым краем и с торцевыми уплотнениями с утолщенным краем прокладка хорошо изолирована, и приемлемы большие значения внутреннего давления или избыточные значения давления. Если наружный диаметр уплотнительного кольца не ограничивается кольцом избыточного давления, фланцы ISO не будут выдерживать перепады внутреннего давления значительно больше 5 фунтов на кв. дюйм.
4Фланцы этого типа продаются под различными торговыми наименованиями.
5Относится к фланцам, изготовленным согласно этому стандарту ISO (Международная организация стандартов). Эти фланцы продаются под различными наименованиями.
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.
