Газовыделение металлов и керамики
Измеренные значения скорости газовыделения Km и показателя степени для широко распространенных металлов и керамики приводятся в табл. 7. Также дана площадь Ат материала и общая быстрота откачки Sa для воздуха при 25 °С в испытательной камере, содержащей материал, из которого происходит газовыделение (камера обычно ограничивается отверстием). Поскольку газовыделение не подвергнутых термической обработке металлов главным образом вызвано образованием водяного пара из слоя поверхностного оксида и вероятность сорбции для водяного пара этим слоем колеблется приблизительно от 10-4 до 10-2 в зависимости от доли поверхности, занимаемой центрами адсорбции, и однородности поверхности, приведенные значения Кm не могут считаться постоянными для свободной скорости газовыделения. Эти значения зависят от соотношения Am/Sw, где .Sw - это общая быстрота откачки водяного пара при 25 °С, а также от парциального давления ре водяного пара в атмосфере и времени воздействия ?е атмосферы до откачки. В табл. 1 приведены скорости газовыделения Кm измеренные в течение 1 ч, для алюминиевого сплава и коррозионностойкой стали при различных значениях Am/Sw, ре и tе, а также свободной скорости газовыделения (где реадсорбция будет нулевой), которые были рассчитаны из полуэмпирических уравнений:
$$K_{fl}=K_{ml}[1+(A_{m}/S_{w})f_{w}]/20_{op}f_{e}),$$
где fw = 14,8 л -с-1см-2 для водяного пара при 25 °С, вероятность прилипания о произвольно устанавливается равной 6 x 10-3 в качестве постоянной средней величины [13], и при 25 °С. Это доля имеющихся центров для физической адсорбции H2O в исходном состоянии, которые были бы заняты молекулами H2O в равновесном состоянии в соответствии с изотермой Фрейндлиха при парциальном давлении ре при 25 °С (0ор = 0,5 при давлении насыщения, равном 23 мм рт. ст.), до диссоциации и хемосорбции, поэтому при 25 °С
$$f_{e}=[1-exp(-t_{e}/4.46)]^{0.5}$$
дает долю поверхности 0ор, полностью насыщенной молекулами, что достигается после воздействия парциального давления рг в течение tc часов в соответствии с полуэмпирическим уравнением на основе данных Галрона [ 14|. Числовые постоянные в уравнениях (48) и (49) будут разными при температурах, отличных от 25 °С.
Когда (AJSvdfvO» 1, скорость реадсорбции настолько высока, что процесс газовыделения приближается к состоянию равновесия, соответствующего изотерме адсорбции-десорбции. Поскольку можно доказать, что энергия активации для десорбции Н20 из слоя оксида изменяется в зависимости от доли охвата в таким же образом, как и изотерма Темкина, несколько авторов [15. 16. 17] моделировали процесс газовыделения с точки зрения подхода квазиравновесия к изотерме Темкина, т. е. использовали либо простую изотерму для одинаковой поверхности, либо более сложное уравнение изотермы для неодинаковых поверхностей [18]. Эти модели прогнозируют различную зависимость скорости газовыделения от температуры, но для определения правильной модели существуют только ограниченные экспериментальные данные [19].
Таблица 7. Эмпирические постоянные для определения скорости газовыделения металлов и керамики
Материал |
Am |
Sa |
|
109Kml |
Алунд (оксид алюминия) (901 Нортон) |
39 |
1 |
400 |
1 |
Алюминий (мягкая сталь с покрытием, нанесенным распылением) |
65 |
0,4 |
60 |
0,75 |
Медь |
12 |
0,08 |
20 |
1 |
Дегуссит (АНОД |
12 |
0,1 |
75 |
1,1 |
Графитовая шерсть (Морганит) |
39 |
1 |
1000 |
1 |
Железо |
12 |
0607 |
5 |
1 |
Мягкая сталь (с небольшой коррозией) |
- |
1 |
600 |
3,1 |
Молибден |
12 |
0,12 |
14 |
1 |
Муллит (800, Юнайтед Файерклей) |
39 |
1 |
800 |
1 |
Муллит (Морганит) |
39 |
1 |
620 |
1 |
Никель |
12 |
0,08 |
10 |
1 |
Фарфор, глазурованный |
30 |
0,7 |
6,5 |
0,5 |
Пирекс |
ю3 |
1 |
7,2 |
1.1 |
Пирофиллит |
12 |
0,1 |
20 |
1,2 |
Пирофиллит (обожженный) |
39 |
1 |
1500 |
0,8 |
Силлиманит(цирконовый) |
39 |
1 |
500 |
0,6 |
Серебро |
12 |
0,07 |
50 |
1 |
Коррозионностойкая сталь (зачищенная ICN ) |
103 |
1 |
8,3 |
1,2 |
Коррозионностойкая сталь (свежая ICN) |
I03 |
1 |
13,5 |
0,9 |
Коррозионностойкая сталь (NS22S) |
103 |
1 |
14,4 |
1,3 |
Коррозионностойкая сталь (NS22S электрополировка) |
I03 |
1 |
4,3 |
1,0 |
Стеатит (тальк) (AI^Oj) |
30 |
0,7 |
90 |
1 |
Сталь (хромированная, свежая) |
103 |
1 |
7,1 |
1 |
Сталь (с никелевым покрытием) |
103 |
1 |
2,8 |
1,1 |
Сталь (с никелевым покрытием, свежая) |
103 |
1 |
4,2 |
0,9 |
Сталь (хромированная, полированная) |
103 |
1 |
9,1 |
1 |
Тантал |
12 |
0,07 |
9 |
1 |
Вольфрам |
12 |
0,07 |
7 |
1 |
Двуокись циркония (Цирконал Лтд.) |
39 |
1 |
1200 |
1 |
Цирконий |
12 |
0,15 |
8 |
1 |
Измеренную величину К,„\ для металлов, находящихся под воздействием влажной атмосферы до откачки, желательно сопровождать данными об общей быстроте откачки 5^ для водяного пара, но в большинстве случаев указываемая величина, по всей видимости, соответствует быстроте откачки воздуха Sa. Если давление измеряется с помощью ионизационного вакуумметра, калиброванного на измерение давления воздуха, индицируемое давление рт будет ниже истинного давления pw, поскольку чувствительность ионизационного вакуумметра для Н20 приблизительно в 0,75 раза больше чувствительности для воздуха (или ;V2), и давление паров Н20 обычно представляет собой приблизительно 90% общего давления из-за газовыделения из термически необработанного образца. Поскольку Sa /Sw= 0.6pwSw. Измеренная скорость газовыделения Kmh = pwSw/Am, а указываемая скорость с учетом калибровки по воздуху, таким образом, будет несколько меньше истинной скорости газовыделения. Однако поведение вакуумной системы, в которой давление измеряется с помощью ионизационного вакуумметра с учетом коэффициента калибровки по воздуху, может все-таки прогнозироваться с помощью таблиц скорости газовыделения.
Из табл. 1 видно, что свободная скорость газовыделения для алюминиевого сплава на порядок больше свободной скорости газовыделения для коррозионностойкой стали, что предположительно вызвано большей толщиной слоя оксида на алюминиевом сплаве [20]. Хотя, как правило, скорость газовыделения для водяного пара растет с увеличением толщины слоя оксида, различные попытки уменьшить скорость газовыделения в системах, которые не могут подвергаться термической обработке, путем уменьшения шероховатости поверхности и толщины слоя оксида (полировка и очистка моющим веществом), были не совсем успешными. При этом местная очистка тлеющим разрядом с помощью Не на порядок сокращает скорость газообразования [21,22].
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.