Повышение давления в закрытой камере

Если высоковакуумный клапан закрывается после истечения времени t₀, с, тогда S= 0 и, с помощью уравнения (11), дифференциальное уравнение (10) относительно давления приобретает вид

$$dp/dt + cp = b/(t+t_{0})^{a}, (26)$$

где

$$c=f_{a} \sigma A/V$$

$$b=(3600)^{a}K_{fh}A/V$$

t - время после закрытия клапана, с.

Принимая, что σ не зависит от давления и времени, это уравнение можно проинтегрировать и получить

$$p=p_{0}e^_{-ct} + be^_{-ct}\int_{0}^{t} \frac{e^_{ct'}}{t' + t_{0}) dt' (29)$$

Можно получить уравнение скорости повышения давления

$$dp/dt=[(b/t^{a}_{0}) - cp_{0}] e^{-ct}$$

Рис. 1. Кривые зависимости давления от времени в период откачки в присутствии газовыделения

и первоначальная скорость повышения давления (t = 0), умноженная на объем камеры V, разделенная на площадь стенок камеры А, равняется

$$V/A)dp/dt=(K_{fh}/t^{a}_{h0})/(1+f_{a} \sigmaA/S), (34)$$

что соответствует именно чистой (замеренной) скорости газовыделения (включая реадсорбцию) при времени откачки (в часах) когда клапан был закрыт. Когда S/А >>f_aσ, свободная скорость газовыделения получается при t_h0. Это один из способов измерения скорости газовыделения. Уравнения основываются на допущении о том, что экспонента времени а является постоянной в течение периодов времени, имеющих место в измерениях, что обычно в целом справедливо для типичных значений а и периодов времени до rhm, как это определено в подразделах 4.7.1.2 и 4.7.4.1. Конечно, когда система содержит слои масла или твердых веществ с летучими пластификаторами, газовыделение паров из этих источников не будет соответствовать уравнению (31).