Внешняя очистка

Очистка — это сокращение загрязнения до уровня, приемлемого в том процессе, для которого нужен вакуум. Внешняя очистка или очистка ex situ (т. е. за пределами вакуумной системы) определяется как использование процессов очистки, выполняемых в окружающей среде или связанных с отдельной единицей очищающего оборудования. Процессы очистки in situ выполняются в вакуумной системе, используемой для обработки. Как правило, очистка in situ используется для удаления повторного загрязнения, которое происходит после очистки exsitu. Однако в некоторых случаях, в частности когда система была загрязнена обратным потоком масла, травлением плазмой или обработкой с химическим осаждением пара, усиленным плазмой (PECVD), очистка in situ может использоваться для очистки очень загрязненных вакуумных поверхностей без разборки.

Внешняя очистка может варьироваться от очень мягкой очистки, такой, как протирание этанолом, до очень агрессивной очистки, где поверхность подвергается травлению [43]. Нереально и неэкономично пытаться достигнуть чистоты типа сверхвысокого вакуума, если требования этого не предусматривают. В некоторых случаях элемент вакуумной системы, например приспособление, используемое в вакуумном осаждении, может очищаться много раз. Со временем это может приводить к изменениям в поверхности, в частности к таким, как увеличение шероховатости поверхности. Часто при использовании деталей, частей и компонентов, закупленных у поставщика, процесс очистки может быть упрощен, если заказать очистку, транспортировку и упаковку, предоставляемые поставщиком. Это может означать увеличение стоимости, но это может сократить проблемы конструктора система. На рынке предлагаются коммерческие услуги по выполнению очистки и упаковки.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@rosvaq.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.