Инструменты для вакуумных измерений
Таблица 4.1. Рабочие диапазоны давлений, измеряемых вакуумметрами.
Показания не зависят от рода газов |
Показания зависят от рода газов |
Тип вакуумметра / мм рт. ст. | 10-12 | 10-11 | 10-10 | 10-9 | 10-8 | 10-7 | 10-6 | 10-5 | 10-4 | 10-3 | 10-2 | 10-1 | 100 | 101 | 102 | 103 | ||
Тензодатчик | + | + | + | + | + | |||||||||||||
Стрелочный | + | + | + | + | + | |||||||||||||
Мембранно-емкостной | + | + | + | + | + | + | ||||||||||||
+ | + | + | + | + | + | |||||||||||||
+ | + | + | + | + | + | |||||||||||||
+ | + | + | + | + | ||||||||||||||
+ | + | + | + | + | ||||||||||||||
Термопарный | + | + | + | + | + | |||||||||||||
Конвекционный | + | + | + | + | + | + | + | + | + | |||||||||
Вакуумметр Пирани | + | + | + | + | + | + | + | + | + | |||||||||
Инверсно-магнетронный | + | + | + | + | + | + | + | + | + | |||||||||
Широкодиапазонный | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | |||
Ионизационный | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + | + |
Простые инструменты
Некоторые производители предлагают вакуумные инструменты, которые выполняют одинарные измерения или содержат несколько датчиков одного и того же типа (рис. 22).
Рис. 22. Простые вакуумметры: а - конвекционный; б - термопарный.
Они предлагаются либо с аналоговыми, либо вакуумметры цифровые с цифровыми дисплеями, аналоговыми выходами «самописца» и реле. Некоторые также имеют выход для непосредственного сопряжения с компьютерами с целью управления процессами - это электронный вакуумметр.
Комбинированные или модульные инструменты
В тех случаях, когда необходимо измерять большой диапазон давлений, требуется комбинация датчиков различного типа. В этом случае вакуумметры представляют собой сложную измерительную систему. В последнее время эти комбинированные приборы стали появляться в модульном исполнении, с взаимозаменяемыми печатными платами для каждого типа необходимого датчика.
В состав модульного вакуумметра могут входить следующие инструменты:
От 1 до 10 бар | Мембранный вакуумметр (положительное давление) |
1 - 1000 мм рт. ст. | Мембранный вакуумметр |
1, 10, 100, 1000, 10 000 мм рт. ст. | Мембранно-емкостный вакуумметр |
От 10-3 до 1000 мм рт. ст. | Конвекционный вакуумметр |
От 1 до 20 000 мм рт. ст. | Термопарный вакуумметр |
От 10-7 до 10-3 мм рт. ст. | Вакуумметр с холодным катодом |
От 10-11 до 10-2 мм рт. ст. | Вакуумметр с холодным катодом |
От 10-11 до 10-3 мм рт. ст. | Вакуумметр с горячим катодом |
Примеры этих комбинированных приборов, предлагаемых различными производителями, приведены на рис. 23.
Рис. 23. Комбинированные вакуумметры.
Интеллектуальные трубчатые датчики
Для некоторых видов применения прибор с дисплеем не требуется. В этом случае используется «интеллектуальный» («умный» или «активный») датчик. Датчик содержит свою собственную электронику. Он питается от внешнего источника и обеспечивает выходной сигнал (обычно с напряжением до 10 вольт или цифровой коммуникационный интерфейс). Затем этот сигнал поступает в систему управления пользователя или на компьютер (рис. 24).
Рис. 24. Интеллектуальные датчики.
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.