Калибровка вакуумметра

Калибровка любого вакуумметра не является неким рутинным мероприятием, а становится все более необходимой процедурой, если учитывать возрастающую сложность вакуумных процессов. Некоторые технологические процессы военной промышленности требуют соблюдения особых стандартов, которые предусматривают калибровку вакуумметров, связанную с лабораториями национальных стандартов. Способность получения вакуумметров, имеющих калибровку, выполненную национальными лабораториями стандартизации или лабораториями, связанными с этими лабораториями, является относительно недавним явлением.

Предусматривая калибровку вакуумметра, вначале нужно проанализировать диапазон давления, в котором будут вестись измерения. Следующая и, возможно, более трудная задача заключается в определении (если возможно) чувствительности процесса к изменению давления. Эти данные должны позволить оценить точность, необходимую для обеспечения эксплуатации в пределах этого диапазона давления. Для выполнения некоторых операций, таких как вакуумная плавка и простое выпаривание, могут требоваться только знания заданного предела понижения давления. Для этой цели достаточной будет точность 10% или даже 20%. Другие операции, включающие обратное заполнение полностью откачанных камер, могут потребовать значительно более высокой степени точности, равной приблизительно 2%. Возможно, самой важной особенностью любого вакуумметра является повторяемость результатов измерений.

Откалибровать вакуумметр можно путем сравнения его показаний с показаниями стандартного вакуумметра или проведения измерений при фиксированном известном давлении.

В диапазоне от атмосферного давления до приблизительно 0,5 мм рт. ст. использование U-образных вакуумметров того или другого вида калибровки с поправкой на местное атмосферное давление и температуру может обеспечить стандарт, который может использоваться для других вакуумметров с косвенными методами измерений.

В диапазоне от 0,5 мм рт. ст. до 10-5 мм рт. ст. компрессионные вакуумметры Мак-Леода с калиброванными объемами могут использоваться в качестве стандартов, но следует проявлять осторожность в отношении исключения конденсируемых паров и возможности ртутного загрязнения датчика и системы. Годами существовала практика, когда просто заявлялось, что вакуумметр был калиброван относительно вакуумметра Мак-Леода с ловушкой. Эта практика больше не считается целесообразной из-за токсичного характера ртути и трудности получения точных воспроизводимых показаний ртутного мениска. Роторный вакуумметр может также использоваться в качестве калибровочного стандарта, как об этом говорилось выше.

В самое последнее время различные национальные лаборатории стандартизации учредили программы, направленные на создание стандартов давления и предоставление услуг калибровки инструментов, в результате чего вакуумметры сертифицируются путем сравнения с этими стандартами давления. Несколько компаний в настоящее время могут предложить услуги по калибровке на основе требований Национального института стандартов и технологии. Предоставляются также и другие калибровочные услуги. Устройства, наиболее часто используемые НИСТ в качестве вторичного калибровочного стандарта в области от 10-3 мм рт. ст. и ниже - это роторный вакуумметр и вакуумметр Байярда-Альперта с вольфрамовой нитью. В других национальных лабораториях использовались триодные вакуумметры своей собственной конструкции.

Основой процесса стандартизации является получение точно известного давления. Статический метод является самым простым в том смысле, что известному малому объему известного газа (обычно азота или аргона) известного давления, измеряемого вакуумметром с прямыми измерениями, например U-образного, разрешается расшириться до большого объема. Затем, во всех или в большинстве случаев, малому объему расширившегося газа разрешается расшириться до большего объема и т. д., до тех пор, пока не будет получено желаемое давление. Проявляя соответствующую осторожность, можно получить известные значения давления, доходящие до 10-7 мм рт. ст., но, что более реально, - до 10-5 - 10-6 мм рт. ст. Вакуумметры можно откалибровать при конечном давлении или при нескольких значениях промежуточного давления в процессе расширения.

Динамический процесс - это метод, предпочитаемый и используемый НИСТ, другими лабораториями национальной стандартизации и некоторыми компаниями. Этот метод является несколько более сложным в том смысле, что в камеру впускают постоянный поток газа Q. При равновесии p = Q/S. Сложность заключается в том, чтобы поддерживать Q и S известными и постоянными. Производство такой системы - это дорогостоящее и требующее много времени предприятие и при наличии откалиброванных приборов в сущности, ненужное.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@rosvaq.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.