Мембранные вакуумметры
Если компенсированные капсульные или диафрагменные механизмы сочетаются с соответствующими электронными измерительными цепями, достигается увеличение эффективности и точности измерений. Одной такой схемой является вакуумметр с емкостной мембраной (мембранно-емкостный или деформационный вакуумметр).
На рис. 6 показаны характерные особенности вакуумметра с емкостной мембраной.
Рис. 6. Мембранные вакуумметры.
Гибкая мембрана образует одну пластину конденсатора, а фиксированный щуп - другую. Изменение давления деформирует гибкую мембрану, которая изменяет емкость, преобразуемую в показание давления. Чувствительность, повторяемость показаний и простота этого вакуумметра позволяют использовать вакуумметр данного типа в качестве стандарта для измерений давления от 10-6 мм рт. ст. до атмосферного давления. В одной головке можно получить динамический диапазон четырех или пяти порядков.
На рис. 6 также схематично показан мембранно-деформационный вакуумметр с тензометром. В этом случае деформация мембраны вызывает пропорциональный выходной сигнал от подсоединенного тензометра. Чувствительность и динамический диапазон, как правило, бывают меньше чувствительности и динамического диапазона вакуумметра с емкостной мембраной. Однако цена мембранно-деформационного вакуумметра, как правило, ниже.
Оба этих вакуумметра при своей высокой чувствительности склонны к погрешностям, вызываемым даже малыми изменениями температуры. Термически контролируемые головки или корректировочные таблицы, встроенные в электронику, использовались для минимизации этой проблемы. Другими источниками погрешности во всех вакуумметрах с твердой стенкой являются гистерезис и усталость металла.
Каталог вакуумметров мембранного(емкостного) типа
Vacuuview
Комбинированный вакуумный измеритель с датчиком Пирани и мембранным. Диапазон измеряемого давление от 1100 до 0.001 мбар.
DVR
Вакуумные датчики емкостного типа, не зависящие от природы газа. Диапазон измерений от 1 до 1080 мбар.
DCP VSK
Емкостный датчик с диапазоном измерений от 0.1 до 1080 мбар.
VCC200
VCC200 - вакуумметр емкостного типа, с диапазоном измерений от 200до 0.1 мбар.
ASG
Изделия серии ASG - мембранные вакуумметры. Диапазон измерений от 1 до 2000 мбар.
PCG
Agilent PCG это вакуумметр использующий датчики Пирани и мембранно-емкостный. Работает в диапазоне давлений от значения 5 x 10-5 до 1000 мбар.
CDG
Agilent CDG - мембранные вакуумметры с диапазоном измеряемых давлений 1333 - 1,33 мбар.
CAPSULE
Мембранные вакуумметры CAPSULE от Leybold. Диапазон измерений от 1 до 100 мбар и от 1 до 1000 мбар.
DIAVAC
Вакуумные датчики Leybold DIAVAC мембранного типа - датчики высокой точности для применения в областях низкого вакуума от 1,0 до 1000 мбар.
CERAVAC
Емкостные вакумметры с керамической мембраной. Диапазон измерений от 10-5 до 1000 Торр.
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.