Конструкция тепловых вакуумметров
На рис. 4.6, 4.7 представлены конструкции наиболее распространенных типов тепловых манометров и схемы их включения. Преобразователи в зависимости от способа измерения температуры делятся на термопарные и преобразователи сопротивления (манометр Пирани).
Рис. 4.6. Манометрический преобразователь сопротивления ПМТ-6: а - конструкция; б - схема измерения. 1 - корпус; 2 - нить канала
Корпус преобразователя ПМТ-6 (рис. 4.6, а) изготавливается из нержавеющей стали, нить накала - из вольфрамовой проволоки диаметром 10 мкм и длиной 80 мм. Манометр работает в режиме постоянной температуры нити, равной 220 °С. При этом сопротивление нити составляет 116,5 Ом. Манометр включен в одно из плеч моста (рис. 4.6, б). Изменение сигнала, свидетельствующее об изменении давления, регистрируется стрелочным прибором. При изменении давления от 10-2 до 30 Тор ток накала нити изменяется от 4 до 52 мА, а напряжение от 0,5 до 6 В.
В диапазоне давлений от 1 до 10-3 Тор наиболее широко применяются термопарные манометры (рис. 4.7).
Рис. 4.7. Конструкции и принципиальная схема измерения термопарных преобразователей: а - преобразователь в стеклянном корпусе ПМТ-2; б - преобразователь в металлическом корпусе TGT-2AM (caburn-MDC); в - принципиальная схема измерения: 1 - корпус; 2 - нить накала; 3 - термопара; 4 - вводы питания; 5 - вводы термопары; 6 - фланец подсоединения к вакуумной системе
Нить накала в этом манометре выполняет только функцию источника тепла. Лампа работает в режиме постоянного тока накала, который регулируется перестройкой балластного резистора. Давление оценивается по ЭДС термопары (рис. 4.8). Рассмотрим работу термопарного вакуумметра на примере преобразователя ПМТ-2. Ток накала составляет 110-135 мА и подбирается таким образом, чтобы стрелка милливольтметра точно совпадала с сотым делением шкалы.
Рис. 4.8. Градуировочная прямая термопарного манометра ПМТ-2
При давлении ниже 10-3 Тор показания манометра достигают асимптотического предела 10 мВ (100 делений). При этих давлениях теплоотвод по газу пренебрежимо мал и вся подводимая мощность расходуется на излучение (~63 %) и теплоотвод по вводам (~37 %).
Верхний предел термопарных манометров определяется двумя явлениями:
1) при высоком давлении нарушается условие l0/d >> 1 и теплопроводимость газа перестает зависеть от давления;
2) при высоком давлении интенсивный молекулярный теплоотвод сильно снижает температуру нити, уменьшает разность температур нити накала и корпуса и приводит к потере чувствительности.
При токе около 120 мА лампа ПМТ-2 имеет верхний предел по давлению примерно 10-1 Тор. Для борьбы с потерей чувствительности при высоком давлении достаточно увеличить температуру нити, т. е. повысить ток накала. При токе 250-300 мА лампа ПМТ-2 может измерять давление в диапазоне 10-1Тор. Для этого диапазона точное значение тока накала подбирают при атмосферном давлении, т. е. производится привязка градуировочной кривой к правому верхнему асимптотическому пределу манометра. Датчики тепловых вакуумметров не боятся прорыва атмосферы и имеют практически неограниченный срок службы.
Нет товаров, соответствующих выбору
Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.