Производительность пароструйного насоса
Зависимость между быстротой действия насоса и впускным давлением привела к возникновению некоторого непонимания относительно диапазона давлений, в пределах которого могут использоваться пароструйные насосы. Часто считают, что эти насосы являются нестабильными при значениях давления системы выше 10-3 Торр. Такие суждения не следует делать без учета размера насоса и газовой нагрузки системы.
Гораздо проще посмотреть на эту зависимость, обратившись к графику зависимости производительности от впускного давления (рис. 8). Любое сочетание производительности и давления, включенное в очерченную область, может быть выбрано для работы, при условии, что впуск откачиваемого газа ограничивается (дросселируется) при значениях впускного давления выше приблизительно 10-3Торр. Область установившегося давления может быть расширена даже до 10-1 Торр (пунктирная диагональная линия на рис. 8), если уменьшить быстроту действия. Это также зависит в определенной степени от размера форвакуумного насоса (как показано на рис. 5).
Рис. 8. График зависимости производительности насоса от впускного давления
Влияние размера насоса
Пароструйные насосы изготовляются с размером фланца от 5 до 120 см. Очевидно, что отличие насосов малого и большого размера заключается в том расстоянии, которое рабочая жидкость насоса (масляный пар) должна проходить от сопла до конденсирующей поверхности или стенки насоса.
Давление в кипятильнике малых и больших насосов приблизительно такое же, поскольку максимальная температура масла ограничена вероятностью его термического разложения. Поэтому плотность пара на выходе сопла практически одинаковая для всех насосов. Однако пар расширяется как в осевом, так и радиальном направлениях, и мы можем допускать, что плотность обратно пропорциональна квадрату расстояния от сопла. Поэтому рядом со стенкой насоса струя бывает достаточно разреженной и менее эффективно захватывает молекулы газа при более высоких значениях давления.
Быстрота действия по различным газам
Быстрота действия должна рассматриваться в связи с парциальным давлением каждого вида газа. При измерении быстроты действия значения, получаемые при приближении к предельному остаточному давлению системы, не имеют смысла. Для определения быстроты действия нельзя использовать значения общего давления в силу неопределенностей, связанных с составом газа и состоянием вакуумметра. Общая картина процесса показана на рис. 9. Каждый газ имеет свою быстроту откачки и, что более важно, свое предельное остаточное давление. Обычно измеряемое «предельное остаточное давление» связано с паром рабочей жидкости насоса, газовыми фракциями и, возможно, с водяным паром, остающимся в системе.
Рис. 9. Быстрота действия по различным газам, которые могут присутствовать в испытательной вакуумной камере
Хотя скорость входящего потока, выраженная в литрах в секунду, должна быть обратно пропорциональной квадратному корню молекулярной массы, более легкие газы не откачиваются с той же быстротой, что и воздух (или азот), и значения быстроты откачки для различных газов не бывают пиковыми при одном и том же значении мощности. Когда необходимы фактические значения, следует сделать отдельные измерения. Обычно газы, присутствующие в вакуумных системах, такие как водный пар, монооксид и диоксид углерода, азот и аргон, откачиваются приблизительно с одинаковой быстротой. Быстрота действия по гелию приблизительно на 20%, а водорода на 30% выше быстроты действия по воздуху. Полное сопротивление жалюзей и ловушек ниже для более легких газов по сравнению с воздухом. Таким образом, значения общей быстроты откачки системы для более легких газов относительно выше значений, полученных для воздуха. На рис. 10 показана типичная рабочая характеристика большого насоса при откачке гелия и водорода. Обратите внимание на то, что максимальная производительность для водорода почти в 3 раза выше, чем для воздуха, что соответствует квадратному корню отношения молекулярной массы. Таким образом, максимальная производительность насоса для аргона на 15% ниже по сравнению с воздухом.
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.