Производительность пароструйных (диффузионных) вакуумных насосв
Следует сказать, что максимальная производительность насоса, а не быстрота его действия часто является самой важной характеристикой эффективности работы пароструйного насоса. Значение максимальной производительности определяет величину мощности, необходимую для работы данного насоса. Производительность и мощность имеют аналогичные единицы измерения. Для насосов существующих конструкций, в которых используются современныерабочие жидкости, для получения максимальной производительности 1,2 Торр * л/с требуется приблизительно 1 кВт.
Рис. 10. Типичная характеристика большого насоса при откачке гелия и водорода. Насос Varian-HS 32-50 000: рабочая жидкость - DC-705: мощность - 20 кВт; вакуумметр Varian (507,5 мА) с поправкой на данный вид газа
Для систем, остающихся в условиях высокого вакуума в течение продолжительных периодов времени, максимальная производительность не имеет значения. В таких случаях можно предусмотреть уменьшение мощности после первоначальной откачки или использовать нагреватели более низкой мощности. Работа насоса при половинной мощности возможна без изменений конструкции насоса. Специальные конструкции могут быть созданы для режима работы с низкой мощностью (низкой производительностью) с должным учетом соответствующего уменьшения допустимого давления предварительного разрежения.
Для быстрой откачки и высокой газовой нагрузки значение максимальной производительности будет определять размер насоса.
Рис. 11. Характеристика насоса в виде кривой зависимости впускного давления от производительности
Если перестроить график на рис. 8, поменяв оси, то можно получить более привычное расположение зависимых и независимых переменных (рис. 11). Тогда проще будет увидеть пределы диапазонов максимальной производительности и установившегося давления, а также перегрузки, если эти пределы будет превышены. Более удобным параметром оценки насоса в данном случае при существующей газовой нагрузке системы является впускное давление. Это поможет в выборе необходимого размера насоса, а также поможет провести различие между требованиями откачки камеры и поддержания необходимого рабочего давления при данной технологической газовой нагрузке.
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.