Технические характеристики турбомолекулярных насосов
Различия параметров, предоставляемых разными производителями, зависят от фактической конструкции (например конструкции лопасти, ступени ротора) ТМН.
Степень сжатия
На рис. 3 приведены кривые зависимости максимальной степени сжатия Кmax ТМН от давления для различных газов. В табл. 1 указаны типичные значения степени сжатия ТМН из каталогов различных производителей. Различия вуказанных значениях зависят от общей конструкции ТМН (диски, количество дисков, ступени дисков).
Рис. 3 Зависимости максимальной степени сжатия /fmax от форвакуум- ного давления при откачке различных газов турбомолекулярными насосами [12]: N2 азот; Не гелий; Н2 водород
Таблица 1. Значения максимальной степени сжатия Ктм типичных ТМН из каталогов различных производителей
|
Производитель |
|||||
|
Откачиваемый газ |
[9] |
[10] |
[11] |
[12] |
[13] |
|
Н2 |
З х102...2 х103 |
1 х 103...2 х 104 |
8 х 102...1 х 105 |
1 х 102... 1 х 104 |
4 x 102...8 x 103 |
|
Не |
3 x 103...2 x 104 |
2 х 104... 1 х 106 |
6 x 102... 1 х 107 |
5 х 102...6 х 105 |
4 х 103...З х 105 |
|
N2 |
8 х107...1 х109 |
1 х 108. ..1 х 109 |
5 х 106...1 х 109 |
2 х 107...1 х 1010 |
5 х 107... 1 х 1010 |
Быстрота действия
На рис. 4 представлены рабочие характеристики ТМН (зависимости быстроты действия от впускного давления) для различных газов.
Маркировка модели ТМН часто включает в себя значение быстроты откачки азота, которая используется в качестве 100% величины. Эта величина сравнивается в табл. 2 с быстротой откачки Н2 и Не из каталогов различных производителей.
Рис. 4. Рабочие характеристики (зависимости быстроты действия от впускного давления) турбомолекулярных насосов для различных газов: N2 азот; Не гелий; Н2 водород; Аr аргон
Таблица 2. Относительная быстрота действия турбомолекулярных насосов из каталогов различных производителей
|
Производитель |
|||||
|
Откачиваемый газ |
[9] |
[10] |
[11] |
[12] |
[13] |
|
н2(%) |
34...63 |
96...133 |
57...98 |
79... 126 |
66... 115 |
|
Не (%) |
60...80 |
100...133 |
73...110 |
87...137 |
88... 124 |
|
N2(%) |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
Предельное остаточное давление
Предельное остаточное давление ТМН, как правило, находится в пределах от 10~10 и 10-9 мм рт. ст. благодаря использованию уплотнений металлических фланцев и двухступенчатого роторного форвакуумного насоса. Парциальное давление Н2 в системе перед заполненным маслом двухступенчатым форвакуумным насосом составляет приблизительно 5x10-7 мм рт. ст. Если значение Кmax для ТМН составляет 1000 и используя уравнение (4), можно ожидать, что предельное давление Н2 перед ТМН могло бы составлять 5x10 -10 мм рт. ст., что соответствует типичному значению предельного давления для этой комбинации насосов.
Состояние термической обработки ТМН и вид используемого уплотнительного материала оказывают влияние на предельное остаточное давление и состав остаточного газа. Для достижения только что упомянутых типичных значений предельного остаточного давления ТМН должен быть подвергнут термической обработке, а металл должен использоваться в качестве уплотнительного материала на стороне высокого вакуума для уменьшения десорбции газа с внутренних поверхностей и уплотнительного материала.
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@rosvaq.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.
